Название: Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур Автор: В.В. Батавин, Ю.А. Концевой, Ю.В. Федорович Издательство: Радио и связь Год: 1985 Страниц: 264 Формат: PDF Размер: 12.3 Мб Язык: русский Серия: Измерения в электронике Рассмотрены физические основы методов измерений электрофизических и структурных параметров полупроводниковых материалов и эпитаксиальных слоев, а также освещены вопросы их практической реализации. Анализируются причины возникновения погрешностей, даются рекомендации по ограничению и устранению источников ошибок измерений. Приводятся сведения о контрольно-измерительных средствах лабораторного и промышленного применения и их характеристиках.