Название: Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур
Автор: В.В. Батавин, Ю.А. Концевой, Ю.В. Федорович
Издательство: Радио и связь
Год: 1985
Страниц: 264
Формат: PDF
Размер: 12.3 Мб
Язык: русский
Серия: Измерения в электронике

Рассмотрены физические основы методов измерений электрофизических и структурных параметров полупроводниковых материалов и эпитаксиальных слоев, а также освещены вопросы их практической реализации. Анализируются причины возникновения погрешностей, даются рекомендации по ограничению и устранению источников ошибок измерений. Приводятся сведения о контрольно-измерительных средствах лабораторного и промышленного применения и их характеристиках.