Название: Справочник по технологии микроэлектронных устройств
Автор: Готра З.Ю.
Издательство: Львов: Каменяр
Год: 1986
Страниц: 287
Формат: DJVU
Размер: 5 Мб
Язык: русский


Приводятся данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах очистки, механической, химической и электромеханической обработки. Рассмотрены вопросы диффузии, эпитаксии, выращивания монокристаллов полупроводников, вакуумного напыления, литографии и сборки в производстве микроэлектронных устройств.