Название: Управление составом полупроводниковых кристаллов
Автор: Романенко В.Н.
Издательство: Металлургия
Год: 1976
Страниц: 368
Формат: DJVU
Размер: 11.6 Мб
Язык: русский

Описаны методы управления составом в объемных монокристаллах полупроводников. Рассмотрены единые физико-химические основы методов управления составом. Описаны не только классические приемы полупроводниковой технологии (очистка, выравнивание), но и новые методики, вошедшие в практику в последние годы. Подробно рассмотрены различные примесные и структурные дефекты, имеющиеся в реальных кристаллах, и причины их возникновения.