Название: Управление составом полупроводниковых кристаллов Автор: Романенко В.Н. Издательство: Металлургия Год: 1976 Страниц: 368 Формат: DJVU Размер: 11.6 Мб Язык: русский Описаны методы управления составом в объемных монокристаллах полупроводников. Рассмотрены единые физико-химические основы методов управления составом. Описаны не только классические приемы полупроводниковой технологии (очистка, выравнивание), но и новые методики, вошедшие в практику в последние годы.